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主要用于玻璃基板電鍍工藝 

產(chǎn)品規(guī)格:min:300*300mm max:600*600mm 

傳動方式:龍門式 

電鍍均勻性：≥90% 

銅柱：常規(guī)Φ80~120μm/H120~240μm 高規(guī)Φ15~30μm/H50~100μm 特規(guī)Φ7~10μm/H15~20μm 

最小線路：L/S:10μm/10μm L/S:7μm/7μm

主要用于大板扇出封裝電鍍工藝 

產(chǎn)品規(guī)格:min:300*300mm max:600*600mm 

傳動方式:龍門式 

電鍍均勻性：≥90% 

銅柱：常規(guī)Φ80~120μm/H120~240μm 高規(guī)Φ15~30μm/H50~100μm 特規(guī)Φ7~10μm/H15~20μm 

最小線路：L/S:10μm/10μm L/S:7μm/7μm

主要用于晶圓表面電鍍銅、表面化學鎳靶金工藝 

產(chǎn)品類型：晶圓 產(chǎn)品規(guī)格：4〞、8〞、12〞 

傳動方式：龍門式 

設(shè)備功能：電鍍銅、電鍍鎳鈀金、化學鎳鈀金